KRI 考夫曼射频离子源RFICP140 溅射沉积 BCx 薄膜
兰州某研究所在研究bcx薄膜的结构特征、力学性能和摩擦磨损性能试验中采用伯东kri考夫曼射频离子源rficp140作为溅射源,溅射碳化硼靶和石墨靶（纯度均为99.9%）,在crmoal齿轮钢和si（100）表面沉积bcx薄膜
伯东kri考夫曼射频离子源rficp140技术参数:
型号
rficp140
discharge
rficp射频
离子束流
>600 ma
离子动能
100-1200 v
栅极直径
14 cm φ
离子束
聚焦,平行,散射
流量
5-30 sccm
通气
ar, kr, xe, o2, n2, h2,其他
典型压力
< 0.5m torr
长度
24.6 cm
直径
24.6 cm
中和器
lfn 2000
试验结论:
相同的沉积时间内, bcx薄膜的厚度随石墨靶电流的增加逐渐增大,硬度、弹性模量逐渐降低,微观形貌的柱状结构特征越来越明显;增加石墨靶电流可以提高bcx薄膜的摩擦学性能,当石墨靶电流为2.4a时, bcx薄膜的摩擦因数稳定在0.2左右,且具有更佳的耐磨性能。
kri离子源的功能实现了更好的性能,增强的可靠性和新颖的材料工艺.kri离子源已经获得了理想的薄膜和表面特性,而这些特性在不使用kri离子源技术的情况下是无法实现的.
kri离子源已应用于许多已成为行业标准的过程中.
伯东是德国pfeiffer真空泵,检漏仪,质谱仪,真空计,美国kri考夫曼离子源,美国hva真空阀门,美国intest高低温冲击测试机,美国ambrell感应加热设备和日本ns离子蚀刻机等进口品牌的代理商.
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