锦正茂科技高低温探针台T8-LY100技术参数
高低温探针台t8-ly100能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80k-420k高低温测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及iv曲线等参数检测，用于低温环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。
技术参数：
1、真空腔体约直径260mm，
2、带有4英寸高透射观察窗，材质熔融石英
3、样品载台直径：50mm样品载台平整度<5微米
4、温度范围：80k-420k，控温仪精度：0.1-0.5k
5、x-y-z行程范围：±25mm*±25mm*0-12.5mm线性运动，位移精度：1um
6、预留光纤接入口做光响应测试
7、预留四个探针座的接口
8、探针长度38mm，直径0.5mm，针尖直径1um
9、两套ccd相机（能看清1-2um）
10、耦合一套四轴应变装置（定制）
11、三同轴射频接口：4只，外接三同轴连接线双向公头，长度 2米
13、真空抽口kf50
14、重量：75kg
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