dlw-rd-photonics是一款专为光子芯片集成领域设计的高性能激光直写设备,拥有高精度纳米级3d加工能力与高精度定位对准能力。设备配备高精度的共聚焦扫描系统和荧光探测系统,确保在光子芯片表面精确对准3d打印。nanostudio软件配备功率补偿功能,可实现在芯片端面的高精度加工,消除聚焦遮挡区域的影响,为光子芯片集成领域的微细结构提供精准打印。制作光刻版的工艺流程:
a、绘制版图文件;
b、转图,生成设备可曝光的文件格式,曝光图形;
c、显影,露出铬层;
d、蚀刻,使用cr蚀刻液湿法腐蚀;
e、使用湿法去除光刻掩膜版上的光刻胶层,并清洗甩干。
常见绘图错误:
a、无填充;
b、图形不封闭、
c、有多余线段;
d、字符无宽度;
e、图形合并错误;
f、隐藏图层;
g、弧线不圆滑;
h、圆形图案曝光出错;
i、文件数据量过大等,都会造成图档转换失败,或者图档虽然转换成功,但是设备有一定几率发生错误曝光,导致制版失败、甚至造成设备电脑死机等严重问题,为避免问题的发生概率,请认真学习软件的使用规则和版图设计要求。
信百诺电子试验机变形测量工作原理是什么
销售旺季,跨境卖家如何警惕“爆仓”危机
关于拖链导向槽的那些事
SST-PFB-SLC
德国BALLUFF巴鲁夫位电感式传感器的灵敏度和非线性都随气隙的增大而减小
激光直写制作光刻掩膜板绘图容易出现哪些错误
高压清洗机不上压怎么回事儿(280高压清洗机压力小怎么办)
水域警示系泊抛锚助航浮标样式
测量汽车飞机轮重轴重称重仪便携式
菲律宾宣布11月1至2日加强所有港口的安全措施
国内物流运输的运输安全管理制度如何完善?
超声波明渠流量计有哪些使用注意事项
长轴潜水泵定期注意事项
陕西拉力测试带钩砝码,西安拉力测试带钩砝码,铜川拉力测试带钩砝码
沼气分析仪,便携式沼气分析仪,北京沼气分析仪
电脑控制的纸张抗张试验机的特点介绍
电动车电池维护必学的几招
缓冲溶液的配制和应用
便携式矿石分析仪使用指南
湿黏性过筛筛选 保养