透射电子显微镜简称透射电镜,是用于观察样品的精细结构的光学仪器,由照明系统、成像系统、真空系统、记录系统、电源系统等结构组成,是物理、生物学等众多科学领域的重要分析方法,常用于癌症研究、材料科学、纳米技术以及半导体研究等等。
样品制备方法:
一、样品要求:
1.粉末样品基本要求
(1)单颗粉末尺寸应小于1μm;
(2)无磁性;
(3)以无机成分为主,否则会造成电镜严重的污染,高压跳掉,甚至击坏高压枪;
2.块状样品基本要求:
(1)需要电解减薄或离子减薄,获得几十纳米的薄区才能观察;
(2)如晶粒尺寸小于1μm,也可用破碎等机械方法制成粉末来观察;
(3)无磁性;
(4)块状样品制备复杂、耗时长而且工序多,需要由专业人员指导制备;样品制备的好坏直接影响到后面电镜的观察和分析。
二、送样品前的准备工作
1.明确制备和观察的目的
2.样品通过x-ray粉末衍射(xrd)测试并确定结构后,再决定是否做hrtem;即可以节省时间,又能在xrd的基础上获得更多的微观结构信息。
三、粉末样品的制备
1.选择高质量的微栅网(直径3mm),这是关系到能否拍摄出高分辨率照片的首步。
2.用镊子小心取出微栅网,将膜面朝上(在灯光下观察显示有光泽的面,即膜面),轻轻平放在白色滤纸上;
3.取适量的粉末和乙醇分别加入小烧杯,进行超声振荡10~30min,过3~5 min后,用玻璃毛细管吸取粉末和乙醇的均匀混合液,然后滴2~3滴该混合液体到微栅网上(如粉末是黑色,则当微栅网周围的白色滤纸表面变得微黑,此时便适中。滴得太多,则粉末分散不开,不利于观察,同时粉末掉入电镜的几率大增,严重影响电镜的使用寿命;滴得太少,则对电镜观察不利,难以找到实验所要求粉末颗粒。)
4.等15 min以上以便乙醇尽量挥发完毕;否则将影响电镜的真空。
四、块状样品制备
1.电解减薄方法
用于金属和合金试样的制备。(1)块状样切成约0.3mm厚的均匀薄片;(2)用金刚砂纸机械研磨到约120~150μm厚;(3)抛光研磨到约100μm厚;(4)冲成ф3mm 的圆片;(5)选择合适的电解液和双喷电解仪的工作条件,将ф3mm 的圆片中心减薄出小孔;(6)迅速取出减薄试样放入无水乙醇中漂洗干净。
注意事项:
(1)电解减薄所用的电解液有很强的腐蚀性,需要注意人员安全,及对设备的清洗;
(2)电解减薄完的试样需要轻取、轻拿、轻放和轻装,否则容易破碎,导致前功尽弃;
2. 离子减薄方法
用于陶瓷、半导体、以及多层膜截面等材料试样的制备。块状样制备(1)块状样切成约0.3mm厚的均匀薄片;(2)均匀薄片用石蜡粘贴于超声波切割机样品座上的载玻片上;(3)用超声波切割机冲成ф3mm 的圆片;(4)用金刚砂纸机械研磨到约100μm厚;(5)用磨坑仪在圆片中央部位磨成一个凹坑,凹坑深度约50~70μm,凹坑目的主要是为了减少后序离子减薄过程时间,以提高终减薄效率;(6)将洁净的、已凹坑的ф3mm 圆片小心放入离子减薄仪中,根据试样材料的特性,选择合适的离子减薄参数进行减薄;通常,一般陶瓷样品离子减薄时间需2~3天;整个过程约5天。
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