精密蠕动泵会被哪些因素影响流速

精密蠕动泵会被哪些因素影响流速用于cmp应用中的浆料输送和分配的其他技术,例如流动回路控制器,通常需要内部空气,这通常会在处理工具中呈现清洁问题。但是使用精密蠕动泵,浆料始终不会在管道内受到污染。而且,使用硅胶管,即使在连续运行3-6个月后,与旧的蠕动管配方相关的散裂问题也不会成为问题,并且压力和流量一致性没有损失。
精密蠕动泵适用于各种管尺寸,高科技管材和新型*泵头设计可长时间长时间提供准确,可靠和可重复的连续流体传输。准确挤出,流量,可提高管道寿命,精度和压力性能。
多种管道选项和各种高性能泵头可满足半导体生产的挑战性要求,包括输送钨和氧化物浆液,去离子水和氢氧化铵。对于这些关键应用,是“当性能重要时”的理想选择。
流速是泵的重要参数,精密蠕动泵中的流速由许多因素决定,例如:软管id-更高的流量和更大的id;泵头外径-更高的流速和更大的外径;泵头转速-更高的流量和更高的转速;进口脉动-脉冲减少了软管的填充量。
增加辊子的数量不会增加流速,相反,它会通过减少头部的有效周长来稍微降低流速。增加滚子确实倾向于通过增加脉冲流的频率来减小在出口处脉动的流体的振幅。
管的长度不影响流速。然而,较长的管意味着入口和出口之间的夹点更多,从而增加了泵可以产生的压力。
在大多数情况下,精密蠕动泵的流速不是线性的。泵入口处的脉动效应改变了蠕动软管的填充程度。在高入口脉动的情况下,蠕动软管变成椭圆形,这导致流量减少。因此,只有当泵具有恒定的流速时,或者当使用正确设计的脉动阻尼器*消除了入口脉动时,才能使用精密蠕动泵进行测量。

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