thermocera基板加热的加热器介绍
thermocera基板加热的加热器介绍
用于pvd（气相沉积/溅射）和cvd等真空薄膜实验的“超高温基板加热加热器”具有优异的均匀性，温升特性和可控性，并且易于操作。
bh加热器：用于大学研究机构。 采用康塔尔和c/c复合材料。 外壳和防护罩作为标准设计，以实现较短的交货时间和低廉的价格。
vh加热器：采用sic3，tic3涂层，pg / pbn扩大了应用范围。 与bh一样，零件和材料是标准化的，以实现较短的交货时间和低廉的价格。
ht加热器：为超高温区域定制的加热器。 此外，即使在恶劣的条件下，也可以实现稳定均匀的加热。 我们每次都会根据您的要求进行设计。
sh加热器：由于气密结构，材料和沉积物不会渗透到内部，并且可以长时间进行稳定的加热。 推荐用于 cvd 实验。
bh基板加热加热器pvd、退火、高温样品台等φ1英寸、φ2英寸、φ4英寸
康塔尔（最高 800°c）
c/c 复合材料 （最高1600°c）
钽（最高1200°c）
vh基板加热加热器pvd，高压/特高压，惰性/反应气体φ2英寸，至φ6英寸
碳化硅涂层（最高 3°c）
tic3涂层（最高1600°c）
pg/pbn（最高1200°c）
ht基板加热加热器定制加热器，用于超高温φ1英寸至φ6英寸
c/c 复合材料 （最高1700°c）
碳化硅涂层（最高 3°c）
tic3涂层（最高1900°c）
sh基板加热加热器cvd，高压/特高压，惰性和反应性气体φ1英寸至φ6英寸
镍铬线铬镍铁合金板（最高 850°c）
钨丝 bn 板/钼盖 （最高1100°c）
hs 热舞台pvd，高压/超高压，惰性/反应气体φ2英寸至φ8英寸
有关加热器部件，请参阅 vh、ht
昆士兰灯加热加热器卤素灯加热器单元
φ4英寸或φ6英寸
pvd 灯加热单元
优异的升温特性和均匀性。
关键词：加热器
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sh加热器：由于气密结构，材料和沉积物不会渗透到内部，并且可以长时间进行稳定的加热。 推荐用于 cvd 实验。
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c/c 复合材料 （最高1600°c）
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