RENNISHAW雷尼绍光栅

rennishaw雷尼绍光栅
附件ree/ref:
ree系列细分盒为更低等级的信号细分提供简单的“即插即用”解决方案。ree系列细分盒使数字正交输出信号的分辨率提高了至少20倍。ree的三个模式,设计初衷是用于雷尼绍的钢带光栅系列,目前经过验证也可用于rle。
提供十进制和二进制细分选项ree和ref是具有创新意义的细分盒,可提供多种创新功能和x4096的一系列细分系数。读数头的光学滤波系统与接口的自动增益、偏置与平衡控制相结合,可在任意速度下,将周期误差(电子细分误差-sde)控制在±50nm以下。也可提供模拟输出接口,它使用这种出众的信号控制,通过适当质量的模拟输入来输出高精度的1vpp信号。
高速
ree和ref都能产生行业标准的rs422a高速数字方波(在0.1μm分辨率时为2.8m/s),并提供多种更高的用户可选的时钟频率(25、30、50mhz),以确保与新一代高速主控制器兼容。ree细分1vpp光栅输出,而ref细分来自超小型rgh25f和rgh20f读数头的*信号。
安装简单
ree与ref都具有快速、可靠的校准步骤,可保证的安装,还具有监控信号强度的三色led安装指示灯。为帮助实现安装,在信号强度到达100%±10%时led指示灯亮蓝色。还有一个设定行,其电压与信号幅值成正比,用于远程监控和诊断。
ref接口特性:
自调节主动修正
ref接口主动修正输入信号的瑕疵,从而提高系统精度。主要进行以下修正:
自动偏置控制 (aoc) - 分别调整正弦和余弦信号的偏移量
自动增益控制 (agc) - 确保信号幅值一致,即1 vpp
自动平衡控制 (abc) - 调整增益量,保持正弦和余弦信号相等
这些修正机制在读数头整个工作速度范围内进行修正。
用户可通过按下校准按钮3秒以上禁用/启用agc。
平面镜系统性能ree模式 ree订货号 分辨率 (nm) 高速度 (mm/s)
ree100 ree0100a20b 1.582 17.7
ree200 ree0200a20b 0.791 8.8
ree400 ree0400a20b 0.395 4.4
角锥反射镜系统性能ree模式 ree订货号 分辨率 (nm) 高速度 (mm/s)
ree100 ree0100a20b 3.164 35.4
ree200 ree0200a20b 1.582 17.7
ree400 ree0400a20b 0.791 8.8
using 20 µm scale
ree0004 - 5 µm resolution
ree0020 - 1 µm resolution
ree0040 - 0.5 µm resolution
ree0100 - 0.2 µm resolution
ree0200 - 0.1 µm resolution
ree0400 - 50 nm resolution
ree1000 - 20 nm resolution
ree2000 - 10 nm resolution
ree4000 - 5 nm resolution
using 40 µm scale
ree0004 - 10 µm resolution
ree0020 - 2 µm resolution
ree0040 - 1 µm resolution
ree0100 - 0.4 µm resolution
ree0200 - 0.2 µm resolution
ree0400 - 0.1 µm resolution
ree1000 - 40 nm resolution
ree2000 - 20 nm resolution
ree4000 - 10 nm resolution

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