OLED显微镜
产品名称：oled显微镜
产品简介：oled显微镜是利用金属光激发oled自主发光后测量oled蒸镀尺寸和偏移等缺陷的显微镜。影像量测著重于度，系统底座采用铸件/花岗石本体结构，减震系统克服环境震动问题，可解决高倍率解析时的震动问题。系统采用xy轴光学尺模块可实现跨距量测。光学系统采用nikon/olympus荧光显微镜光路实现对oled的激发。人性化计算机量测模式，有效提高观察定位效率。专为使用者设计机型，使操作更便利、测量更迅速。
产品概述&参数
产品特点：
手动量测系统xy采用精密无牙螺杆传动，减少齿轮传动偏移误差线性马达/伺服马达用于自动化量测传动系统，能实现高精度测量系统采用被动式or主动式减震系统，能克服环境震动问题，可解决高倍率解析时的震动问题系统使用nikon/olympus 荧光显微光路，有效激发oled发射光谱系统使用人体工学设计理念设计，符合友好化测量设备应用：
设备主要应用oled的显微分析和蒸镀测量上
量测工具
点,线,圆,弧,椭圆,槽型,曲线等各项不规则外型取样
形位公差
真圆度,同心度,垂直度,倾斜度,位置度,等各项形位公差设置
uv功能验证
uv光源下图像清晰
断面测量
按照po spec要求进行测试并保存结果
自动计算offset
根据蒸镀有机材料的位置与设定的蒸镀位置对比,计算offset;或者是将uv光图像位置和上光源下图片位置对比,计算offset
uv光和卤素光自动切换
在软件中点击切换按钮后,可以自动切换光源并呈现相应的图像
spc
软件须附带spc功能,量测之数据须能自动导出作分析
报表输出
软件可客制化输出客户所需之 excel,txt,word,jpg
7.3.2 设备配置&特征
7.3.2system configuration& characteristic
外部尺寸：l*w*h≤2500*2500*2000mm
external size: l*w*h≤2500*2500*2000mm
*测量行程：x*y≥750*650mm
z≤100mm
重量：≤5000kg
承重：≥10kg
capacity: ≥10kg
*高测量度：xyz≤1μm
*maximum accuracy: xyz≤1μm
*机台重复性：≤1μm
*machine repeatability:≤1μm
xyz小移动距离：xyz≤1um
xyz minimum move distance: xyz≤1um
xyz移动精度: xyz≤1um
xyz move precision: xyz≤1um
*xyz轴移动速度: xyz≤200mm/s
*xyz speed: xy≤200mm/s
7.3.3机械本体
7.3.3 mechanics
主机：影像测量系统，四轴cnc控制
machine: 4-axis cnc video measuring machine
机械结构：花岗岩或相同性能材质
structure: granite or comparable material
平面度公差：≤7um
platness tolerance: ≤7um
*光栅尺分辨率：xyz≤0.5um
*scale resolution: xyz ≤0.5um
*摄像机：彩色相机，200万像素,wan接口
*camera: color camera, 2000000 pixels, the wan interface
*ccd芯片尺寸：≥2/3英寸
*ccd size: ≥2/3 inch
光学系统配置：检偏镜，起偏镜，红蓝绿滤光片，0.5x c接口，明暗场光学系统，五孔电动鼻轮
the optical system configuration: a polarizer, red green and blue filters, 0.5x c-mount, bright and dark field optical body, five holeelectric nose-wheel
*光学放大倍率：5x/10x/20x/50x/100x
光源特征：光源可以采用卤素灯、汞灯，寿命满足spec要求
7.3.5电控系统、
7.3.5 control system
电机：直流伺服电机
dynamo:dc servo motor
操作类型：鼠标和操作手柄，按键
control type: mouse and joystick
7.3.6软件系统
7.3.6 software system
功能:点，直线，圆，弧，椭圆，槽等测量功能，带有线追踪功能，粒子计数，软件定位系统，软件控制光源亮度，软件控制电动鼻轮，软件控制孔径光阑
图像：可复制，可进行大面积图形无缝拼接
image: can copy
*数据格式：jpg/excel
*data format: jpg/excel
7.3.7 其它
7.3.7 others
*防微振装置:达到vc-b级别的防震平台
*anti-vibration device: yes
*静电防护：离子风棒
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量测工具
点,线,圆,弧,椭圆,槽型,曲线等各项不规则外型取样
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外部尺寸：l*w*h≤2500*2500*2000mm
external size: l*w*h≤2500*2500*2000mm
*测量行程：x*y≥750*650mm
z≤100mm
重量：≤5000kg
承重：≥10kg
capacity: ≥10kg
*高测量度：xyz≤1μm
*maximum accuracy: xyz≤1μm
*机台重复性：≤1μm
*machine repeatability:≤1μm
xyz小移动距离：xyz≤1um
xyz minimum move distance: xyz≤1um
xyz移动精度: xyz≤1um
xyz move precision: xyz≤1um
*xyz轴移动速度: xyz≤200mm/s
*xyz speed: xy≤200mm/s
7.3.3机械本体
7.3.3 mechanics
主机：影像测量系统，四轴cnc控制
machine: 4-axis cnc video measuring machine
机械结构：花岗岩或相同性能材质
structure: granite or comparable material
平面度公差：≤7um
platness tolerance: ≤7um
*光栅尺分辨率：xyz≤0.5um
*scale resolution: xyz ≤0.5um
*摄像机：彩色相机，200万像素,wan接口
*camera: color camera, 2000000 pixels, the wan interface
*ccd芯片尺寸：≥2/3英寸
*ccd size: ≥2/3 inch
光学系统配置：检偏镜，起偏镜，红蓝绿滤光片，0.5x c接口，明暗场光学系统，五孔电动鼻轮
the optical system configuration: a polarizer, red green and blue filters, 0.5x c-mount, bright and dark field optical body, five holeelectric nose-wheel
*光学放大倍率：5x/10x/20x/50x/100x
光源特征：光源可以采用卤素灯、汞灯，寿命满足spec要求
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电机：直流伺服电机
dynamo:dc servo motor
操作类型：鼠标和操作手柄，按键
control type: mouse and joystick
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功能:点，直线，圆，弧，椭圆，槽等测量功能，带有线追踪功能，粒子计数，软件定位系统，软件控制光源亮度，软件控制电动鼻轮，软件控制孔径光阑
图像：可复制，可进行大面积图形无缝拼接
image: can copy
*数据格式：jpg/excel
*data format: jpg/excel
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*防微振装置:达到vc-b级别的防震平台
*anti-vibration device: yes
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