锦正茂多维磁场探针台的用途及技术参数
产品概述：
北京锦正茂科技有限公司提供的多维磁场探针台，采用无磁材料制成，采用亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间多维磁场。线圈可采用自然冷却（磁场较小）或水冷结构（磁场较大），标配线圈过热保护装置。配合高精度双极性直流电源可长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板控制每一维输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”，就能看到我们的企业店铺。
应用范围：广泛应用于半导体工业、mems 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。三维探针台和锦正茂自主研发的高精度双极性电源相匹配，通过真正的双极性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成。
可选附件：
þ 各类dc探针、高频探针、主动式探针、电缆线
þ ccd或c-mos视频成像装装置
þ chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1mpa正压系统升级
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
þ 各类探针夹具
þ 屏蔽箱
þ 防振桌
þ 转接头
þ 静音真空泵
技术指标：
三维磁场探针台
型号
t8-500-3
t8-300-3
t8-100-3
材质
所选材料均为无磁材质
磁场范围
500gs
300gs
100gs
线圈材质
耐高温漆包线
磁场均匀性
中心区50毫米球体内1%
电源稳定性
三台高精度直流电源 50ppm可选10ppm
磁场分辨率
0.05 mt
角度分辨率
0.02°
样品固定方式
吸盘或者压片
样品台直径
50mm可定制
显微镜
x、y平面2*2inch，精度1μm，z轴行程≥50.8mm，可选加载激光
放大倍数
16~100x/20~4000x
探针臂数量
2、4可选
探针臂行程
25mm-25mm-12mm可更换
探针臂移动精度
10μm /2μm/1μm/0.7μm可选
探针长度
38mm
探针直径
0.51mm
针尖直径
10μm/5μm/1μm
探针材料
钨/铍铜/ggb
漏电精度
100fa
显微镜
x、y平面2*2inch，精度1μm，z轴行程≥50.8mm，可选加载激光
关键词：芯片 显微镜 真空泵 电子显微镜
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