浅聊等离子清洗机的真空腔体保养
该设备在各行各业已经广泛应用，等离子清洗机设备原理并不复杂，但是一套完整的等离子系统包含很多方面。它的原理是两个电极之间形成高频交变电场，用真空泵在装置的密闭容器中实现一定的真空度随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长，区域内气体在交变电场的激荡下，形成等离子体。在真空和瞬时高温状态下，活性等离子对孔壁内钻污、残胶及油污等污染物进行物理轰击与化学反应双重作用，污染物部分蒸发或在高能量离子的冲击下被击碎，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的。
设备在使用过程中，合理有效的进行设备维护，能够减少设备的故障率，增加设备的使用寿命，同时能够保证清洗达到生产的工艺标准。这在工业生产制造上，能起到很大的稳定作用。
等离子清洗机的真空腔体保养：
等离子腔体清洁时产生的污物大部分都接近电子级别，会随着真空泵排除。但也会有一些大颗粒污染物产生。这些大颗粒污物会附着在腔壁、电极和托板架上。腔壁上有一层薄薄的“灰”，腔底掉落更严重。对于腔壁用不可掉落的毛刷清洁使颗粒粉尘异物在腔壁脱落，用吸尘机将污物吸出。用脱脂布沾酒精擦拭，其次腔体导入n2和o2，用等离子体清除腔体内残余物，工作10min。
在实际生产中，我们发现该清洗机一些重要的部件会随着使用时间的推移产生不同程度的氧化、老化、腐蚀等问题，会是引起该清洗机达不到清洗效果的原因，例如反应腔、电极、托板架、气体的压力等。
关键词：等离子清洗机 真空泵
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