Huace-4简易探针台的产品特点及应用
huace-4简易探针台
产品简介：
探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，x-y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的x-y-z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
产品特点及应用：
◆ 满足i-v/c-v，piv测试，光电测试等；
◆ 可用于6英寸以内样品测试；
◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动；
◆ 可放置于手套箱内使用；
◆ 形状轻巧，操作方便，价格实惠。
技术参数：
台体规格
尺寸
4英寸/6英寸
水平旋转
可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置
x-y移动行程
2英寸×3英寸
x-y移动精度
10μm
样品台z轴调节
可升降10mm
样品固定
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台
左右各一个针座平台，**可放置6个探针座
背电极测试
样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
外形尺寸
400mm长*380mm宽*500mm高
设备重量
约20kg
光学系统
显微镜类型
单筒显微镜/体式显微镜
放大倍率
16x-200x
移动行程
水平方向绕立柱360°旋转，z轴50.8毫米
光源
外置led无极调节亮度环形光源
ccd
200万像素/500万像素/1200万像素
定位器
x-y-z移动行程
12mm*12mm*12mm
移动精度
10μm/2μm/0.7μm/0.5μm
吸附方式
磁力吸附，真空吸附
线缆
同轴线/三轴线
漏电精度
10pa/100fa/10fa
固定探针
弹簧固定/管状固定
接头类型
bnc/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
针尖直径
0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm
针尖材质
钨钢；铍铜
可选附件：
加热台；
显示器；
转接头；
射频测试配件；
屏蔽箱；
光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；
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◆ 可用于6英寸以内样品测试；
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◆ 可放置于手套箱内使用；
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尺寸
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x-y移动行程
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可升降10mm
样品固定
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针座平台
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移动行程
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光源
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ccd
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吸附方式
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线缆
同轴线/三轴线
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0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm
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