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alnair labs硅片厚度测量仪的工作原理
alnair labs硅片厚度测量仪的工作原理
随着近年来我国半导体相关产业的发展,产业相关的检测需求日益增多。precitec在半导体检测领域深耕多年,在半导体非接触式在线、离线检测方面有多种多样的应用,致力于帮助大家解决行业痛点,特别是高精度、高环境标准要求的检测问题。
由于红外光的波长相对于可见光的波长更长,在半透明体中具有更长的传播距离,因此通常被应用于半透明薄膜、硅片、蓝宝石的厚度检测。特别是在硅片的研磨和抛光的工艺过程中,硅片的一侧为磨盘,只有单侧可以安装检测设备,因此该检测方式常用于在线检测设备当中。
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波长扫描方法可实现高灵敏度测量。
关键词:检测设备
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