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二维/六维角振动台
同茂音圈电机二维/六维角振动台(自由度平台)
1,产生标准角位移,角速度和角加速度;
2,采用正弦信号校准幅频和相频;
型 号:tmec-v-40
镜面尺寸:300*300
负 载:5kg
行 程:θx,θy: ± 20urad
精 度:5urad
带 宽:150hz
型 号:tmec-v-60
镜面尺寸:400mm
负 载:5kg
行程:θx,θy,θz: ± 10urad
分 辨 率:5nm
带 宽:10hz
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