除电器q&a集
q 引起电子元件破坏的静电在哪里发生的?危险的静电在哪里发生的?
a zui成问题的是组装工序等的作业者带电。只要没有特别的对策,作业者很容易带数千伏的电。半导体元件根据种类在数十伏就被破坏,所以地面的导电化和穿带电防止服和防止靴就是必然的;但根据场合,对持有金属板等的人体防止带电方面需要引起细心的注意。其它方面,和塑料制的托盘及包装等的容器类的摩擦也会引起带电,所以需要对这些导电性的物品等的对策。
q.操作半导体设备的工序,多使用送风式的除电器。此除电器使用方面的注意点是什么?
a 受除电器的离子风吹,因此很多情况是减弱送风、或者不直接操作半导体设备的工序,多使用送风式的除电器。此工序的作业者因为长时间离子风吹,为了有效使用送风式的除电器,需要注意此除电器的除电性能因送风强度而有很大的不同。即便在靠近除电距离d=300mm的距离,在zui小风速时,电位衰减也要用很长时间。另外,即便送风方向不好,要进行电子零件·设备的除电,必要的离子量不足也会使除电时间变长。因此,要使用送风式的除电器,使用时就需要一面用静电监视器确认除电效果和离子平衡,一面进行调节送风风向、送风强度的调节。
q 辊子上卷绕的胶卷·纸等的带电防止、电击防止的对策是什?
a 辊子上卷绕的胶卷、纸等,不仅胶卷、纸带电,卷绕完的纸管、金属制的芯棒(管体)、及在附近作业的人体等也会带电。作为zui小必要限度的电击防止对策,是将纸管的金属部分、金属制的芯棒管体接地、防止导电性的地面·静电靴·带电防止作业服引起的人体的带电。进而,如果可能就应该通过送风式的除电器,用胶卷·纸等的除电·加湿器使环境的相对湿度提高到65%以上,以减少带电。受到电击这样的带电,并非只发生电击引起的故障,还会成为爆炸·火灾、电磁噪音、污染等所有故障的原因,所以,必须作到防止带电。
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