lintec-mfc/DeviceNet质量流量控制器特征？
devicenet质量流量控制器
与devicenet通信兼容的质量流量控制器。
安装在最新半导体制造设备中的控制设备越来越多地使用开放现场工作通信来实现高速控制和简化布线，而不是模拟控制。
琳得科在业内开发了 mc-5000l，这是一款符合 semi 标准的 devicenet™ 通信质量流量控制器。配备半导体制造所需的金属密封件和环境温度补偿流量传感器。还提供各种选项，例如兼容液化气体。
特征精度±1%sp
工作温度5-50℃
金属密封
清洁（保证颗粒）
环境温度保证传感器
devicenet™ 通信
选项微流fs
兼容液化气
大范围
接线简化半导体设备中的现场网络控制不断增加。用于devicenet通信的mfc (mc-5000l)不需要ad/da转换器或io板，从而实现低成本和节省接线。
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