半导体,液晶设备的搬运震动检测设备介绍

半导体,液晶设备的搬运震动检测设备介绍
mircostone 8通道小型无线运动记录仪mvp-rf8-jc 半导体,液晶设备的搬运震动检测 马达和泵体的异常震动原因检测分析
用途:
1. 半导体晶圆和液晶面板输送时的振动监测
2. 电机马达、泵体的振动测量
特征:
(1) 在触发测量模式下,在任意时间测量可以自动启动! 适合机器人等测量确定频率时间!
(2) 采样周期 0.05msec(采样频率 20khz)!
(3) 作为外部传感器,3轴加速度最多可连接两个传感器 ma3 系列
(4) 分辨率为 10 位→ 12 位
(5) 连续操作时间约为 10 小时→约 24 小时。
设备检测优点
在触发测量模式下,可以在任何时间自动开始测量。此功能非常适合测量工业机器人和运输设备中的节拍时间振动。
实现0.05毫秒的采样周期!(采样频率 20khz,在记录模式下)
最多可连接两个 ma3 系列 3 轴加速度计作为外部传感器。您可以选择可以测量的宽范围。
关键词:检测设备 传感器

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