valcom传感器在半导体和电子相关应用示例

valcom传感器在半导体和电子相关应用示例
管理各种压力(供气/排气、大气压回流、泄漏、清洁)、真空压力和各种成型载荷(表面、抛光、装配)。
各种设备的压力监控(例如蚀刻/cvd等)1供气压力监测
2确认燃气面板管道泄漏
3确认真空到达腔室
4确认腔室内恢复到大气压
5检查涡轮泵切换的真空压力
6废气处理设备压力监测
压力传感器vsst(sf/rr/wt/wf)
hs1/hv1
vshs/vsht
vccp
指示器缤彩 f3 (过程输入)
vsm3b
vmm7(进程输入)
vmm6(进程输入)
纯水压力监测
压力传感器vesv/vesi
维西姆□□a
vprf (过程输出)
指示器缤彩 f8 (过程输入)
vsm3b
vmm7(进程输入)
vmm6(进程输入)
半导体前端工艺抛光期间的负载控制
负荷vls
vlss-c
指示器华彩f3(应变片输入)
vgm
vgm2a/b
后处理成型期间的负载监控
负荷vlc-g811
vlc-g510a
vu93
指示器华彩f3(应变片输入)
vgm
vgm2a/b
vgm4
各种圆盘表面抛光期间的负载控制
负荷vls
vlss-c
指示器华彩f3(应变片输入)
vgm
vgm2a/b
各种电子元件的压力负载监控
负荷vlc-g811
vlc-g510a
vu93
指示器vlgm4
vgm
vmm7 (应变片输入)
vmm6 (应变片输入)
关键词:传感器 涡轮泵 废气处理设备 压力传感器

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