无尘室工程(clean room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室,污染敏感零件不可能批量生产。在 fed-std-2里面,无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、**等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。 是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室:
⑴天花板系统:包括吊杆(ceiling rod)、纲梁(i-beam或u-beam)、天花板格子梁(ceiling grid或ceilingframe)。
⑵空调系统包括空气舱、过滤器系统、风车等。
⑶隔墙板(partitional wall)包括窗户、门。
⑷地板包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
⑸照明器具 包括日光灯、黄色灯管等。
⑹无尘室之建筑主体构造一般是用钢筋或,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:a.不会因温度变化与振动而发生裂痕;b.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;c.吸湿性小;d.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;
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