西班牙das-nano公司成立于2012年,是一家专注研发高安全级别打印设备、太赫兹无损检测设备以及个人身份安全验证设备的高科技公司。近日,该公司重磅推出了可以实现大面积(8英寸wafer)石墨烯和其他二维材料的100%全区域无损非接触快速电学测量系统-onyx。
石墨烯/二维材料电学性质非接触快速测量系统-onyx 设备图
onyx采用一体化的反射式太赫兹时域光谱技术(thz-tds)弥补了传统接触测量方法(如四探针法- four-probe method,范德堡法-van der pauw和电阻层析成像法-electrical resistance tomography)及显微方法(原子力显微镜-afm, 共聚焦拉曼-raman,扫描电子显微镜-sem以及透射电子显微镜-tem)之间的不足和空白。onyx可以快速测量从0.5 mm2到~m2的石墨烯及其他二维材料的电学特性,为科研和工业化提供了一种颠覆性的检测手段。与其他大面积测试方法(例如四探针方法)相比,onyx能够测量样品质量的空间分布信息,并且属于无损测试,在实验过程中不会对样品产生任何损伤。与传统显微方法相比,对大面积的样品可以以微米级的空间分辨率快速表征,能够*的节约测量时间,提高效率[1,2]。
onyx参数及特点
样品大小: 10x10mm-200x200mm
超快测量速度:12cm2/min
样品100%全覆盖测量
无需样品制备
可定制样品测量面积(m2量级)
zui高分辨率:50μm
非接触快速测量
无损快速测量
onyx主要功能
→直流电导率(σdc)
→载流子迁移率,μdrift
→直流电阻率,rdc
→载流子浓度,ns
→载流子散射时间,τsc
→表面均匀性
onyx应用方向
石墨烯 光伏薄膜材料 半导体薄膜 电子器件
pedot 钨纳米线 gan颗粒 ag 纳米线
目前,onyx在研究机构和工业化领域已经安装多套设备,包括:丹麦技术大学(dtu),牛津仪器,德国bosh公司,lg化学,3m公司,西班牙graphenea公司等。quantum design中国子公司也于2020年正式将该产品引进中国,为中国客户提供高效的技术支持和解决方案,欢迎广大科研工作者垂询。
参考文献
[1] cultrera, a., serazio, d., zurutuza, a. et al. mapping the conductivity of graphene with electrical resistance tomography. sci rep 9, 10655 (2019).
[2] melios, c., huang, n., callegaro, l. et al. towards standardisation of contact and contactless electrical measurements of cvd graphene at the macro-, micro- and nano-scale. sci rep 10, 3223 (2020).
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