用大气压等离子体射流清洗手机玻璃面板去除油脂类物质

近年来手机均以玻璃为面板,为了提高玻璃面板的强度和硬度,通常采用化学钢化。而在化学钢化前需要进行清洗,如果清洗不良,则会影响产品质量。
传统的清洗方法是先用洗涤剂刷洗,再用酸液碱液与有机溶剂超声波清洗。工序复杂,费时费工,且造成污染。而现在有低温等离子体处理工艺。低温等离子体富集的离子、电子、激发态原子、分子及自由基均为活性粒子,易于和材料表面发生反应。因而在表面改性、薄膜沉积、刻蚀加工、器件清洗等领域得到广泛应用。
大气低温等离子体射流是近年来兴起的等离子处理工艺,具有击穿电压较低、离子和亚稳态分子浓度较高、电子温度高、中性分子温度低等优点,产生的等离子体均匀,可控性好,不需要抽真空,能连续进行表面清洗。
在清洗时,等离子体中化学活性成分浓度愈高,清洗效果愈好。等离子射流对玻璃表面的清洗,除了机械作用外,更主要是活性氧的化学作用,等离子中激发态的ar*,
使氧分子激发为激发态氧原子
ar*+o2→o+o*+ar(1)
ar*+o→o+ar(2)
高能量电子撞击氧分子使其分解,形成激发态氧原子
e +o2→o+o*+ e(3)
e+o2→o+o+e(4)
沾污的润滑油与硬脂酸主要成分为碳氢化合物,这些碳氢化合物为活性氧所氧化,生成二氧化碳和水
cnhm + po*→xco2 + yh2o(5)
从而将油脂从玻璃表面上除去。
润滑油和硬脂酸是手机玻璃表面板常见的沾污物质,污染后玻璃表面对水的接触角增加,影响到离子交换。传统的清洗方法工艺复杂且有污染。
大气等离子体发生器,结构简单,不需要抽真空,室温下即可进行清洗,所产生的激发态的氧原子比一般氧原子更具有活性,可将污染的润滑油和硬脂酸中的碳氢化合物进行氧化,生成二氧化碳和水。
等离子体射流同时还具有机械冲击力,起到了刷洗作用,使玻璃表面污染物迅速脱离玻璃表面,达到高效清洗的目的。

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