超高分辨场发射扫描电子金属显微镜

超高分辨场发射扫描电子金属显微镜现有机型su8240,su8230,su8220及su8010重新整合,衍生而成regulus8240、regulus8230、regulus8220、regulus8100。
超高分辨场发射扫描电子金属显微镜regulus系列继承了现有机型的观察和分析性能,配备su8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。
超高分辨场发射扫描电子金属显微镜通过优化电子光学系统,regulus8240/8230/8220在1 kv条件下分辨率提高到0.7 nm,regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的*性能。
沿用su8200系列的冷场发射电子枪*2
采用电子束在flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的*性能
(regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kv、regulus8100: 0.8 nm/1 kv)
采用污染小、高真空样品仓
运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2
极低着陆电压下高分辨观察
样品:金颗粒
着陆电压:10 v
超高分辨观察
样品:pt催化剂
加速电压:30 kv
低加速电压下高分辨edx分析
样品:sn球
着陆电压:1.5 kv

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