扫描电子显微镜的性能特点介绍
扫描电子显微镜的性能特点介绍
扫描电镜性能特点介绍扫描电镜的种类繁多，不同种类的扫描电镜在性能上也存在差异。根据电子枪的类型，可分为场发射电子枪、钨丝枪和六硼化镧三种类型[5]。其中，场发射扫描电子显微镜按光源性能可分为冷场发射扫描电子显微镜和热场发射扫描电子显微镜。冷场发射扫描电镜对真空条件要求高，光束不稳定，发射器寿命短，需要定期清洗针尖。可长时间工作，并可与多种配件组合，实现综合分析。在地质领域，我们不仅需要观察样品的初始形态，还需要结合分析仪分析样品的其他性质，因此热场发射扫描电镜的应用更为广泛。扫描电子显微镜（sem）是一种用于高分辨率显微形貌分析的大型精密仪器。具有景深大、分辨率高、成像直观、三维感强、放大倍率范围广、待测样品可在三维空间内旋转和倾斜等特点。此外，它还具有可测量样品种类丰富，对原始样品几乎无损伤和污染，同时获取形貌、结构、成分和晶体学信息等优点。目前，扫描电镜已广泛应用于生命科学、物理、化学、司法、地球科学、材料科学、工业生产等领域的显微研究。 、沉积学、地球化学、宝石学、微型古生物学、天文地质学、油气地质学、工程地质学和构造地质学等。 sem虽然是显微镜家族中的hou起之秀，但由于其诸多优势，其发展速度非常快。 1 仪器分辨率高，通过二次电子图像可以观察到样品表面约6 nm的细节。提高到 3nm。 2 仪器放大倍率变化范围广，可连续调节。因此，可以根据需要选择不同的视场进行观察，同时在高倍率下可以获得高亮度、清晰的图像，这是一般透射电镜难以做到的。 3 观察样品景深大，视野大，图像充满立体感。 4 制样简单，大块或粉状样品只要稍加处理或不加处理，即可直接放入扫描电镜观察，更接近材料的自然状态。 5图像质量可以通过电子方式进行有效控制和改善，例如自动保持亮度和对比度、样品倾斜角度校正、图像旋转，或通过y调制来提高图像对比度的纬度，以及图像各部分的亮度。图像 中等偏暗。使用双倍放大装置或图像选择器，可以在荧光屏上同时观察不同放大倍率的图像。 6 可以进行综合分析。配备波长色散x射线光谱仪（wdx）或能量色散x射线光谱仪（edx），具有电子探针功能，还可检测反射电子、x射线、阴极荧光、透射电子、俄歇由样品电子等发出。将sem的应用扩展到各种微观和微观区域分析方法，显示了sem的多功能性。此外，还可以在观察形貌图像的同时分析样品的可选微区；附上半导体样品架，通过电动势图像放大器可以直接观察晶体管或集成电路中的pn结和微观缺陷。由于许多sem电子探针实现了电子计算机的自动和半自动控制，大大提高了定量分析的速度。
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