等离子体清洗机可改性材料表面,便于下一步喷涂工艺处理,等离子体清洗机作用于材料表面,改变其表面的分子化学键,形成新的表面特性。
等离子清洗机(plasma cleaner)又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合,通过等离子清洗机的表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子体清洗机能增强材料的附着力、相容性和渗透性,并广泛应用于聚合物科学、生物医学等领域。
采用等离子体清洗机的表面处理技术清洁表面,可去除氧化剂、有机残留物等表面污染物,严重削弱导线连接的拉伸强度。传统的方法不*或不能去除关键区域的污染物,等离子清洗机均可以有效地去除污染物,激活关键区域表面的污染物,显著提高关键区域的张力,有效地提高集成电路设备的可靠性。
除了超清功能外,等离子体清洗机还可以根据具体情况和需要改变某些材料的表面性能。等离子体作用于材料表面,改变材料表面的分子化学键,形成新的表面性能。
关键词:等离子清洗机
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