超纯水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。
超纯水是指下列杂质含量很低的水:
①无机电离杂质,如 ca、mg、na、k、fe2+、fe3+、mn、al、hco、co、so、cl、no、no、sio、po等;
②有机物,如烷基苯磺酸、油、有机铁、有机铝以及其他碳氢化合物等;
③颗粒,如尘埃、氧化铁、铝、胶体硅等;
④微生物,如细菌、浮游生物和藻类等;
⑤溶解气体,如n2、o2、co2、h2s等。超纯水中电离杂质的含量用水的电阻率数值来衡量。
超纯水中有机物含量由测定有机物碳含量而定,电子工业超纯水中规定含量为50~200微克/升,并要求直径大于1微米的颗粒性物质每1毫升内含量为1~2个,微生物每1毫升为0~10个。现代采用预处理、电渗析、紫外线杀菌、反渗透、离子交换、超滤和各种膜过滤技术等,使超纯水的电阻率在25℃时达到18(兆欧·厘米)。
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电子级超纯水设备采用靶向离子交换系统针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除同时还能连续、稳定地生产高纯度的超纯水。在晶圆、电子芯片、集成电路、精密仪器、电镀涂装、试剂稀释、氟化工等领域多有应用。设备可根据客户需求量身定制工艺用水、清洗用水、循环用水等超纯水处理解决方案。
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