真空馈通（ Feedthrough）介绍

真空馈通（ feedthrough）是一种用于在真空系统中传递电信号、气体或液体的装置。真空馈通的主要作用是将位于真空室内外的电缆、管路或其他设备连接起来，以便实现在真空环境下进行数据或能量的传输。
真空馈通的构造一般由三个部分组成：馈通体、绝缘体和接头。馈通体一般采用不锈钢、钛合金或陶瓷等材料制成，其主要作用是将连接器中的导体或管路引出真空室。绝缘体则用于隔离馈通体与导体或管路之间的电磁干扰和气体泄漏，通常由石英、陶瓷或塑料等材料制成。接头则用于将馈通体和导体或管路连接起来，并保证密封性。
在真空系统中，真空馈通可用于传递各种信号和能量，如电信号、电力、热能、气体、液体等，应用广泛。在科研领域中，真空馈通可用于真空室中的各种实验装置中，如质谱仪、电子显微镜、激光器等，以传递数据和控制信号。在工业领域中，真空馈通可用于真空冶炼、真空干燥、真空蒸馏等领域，以传递气体或液体。
真空馈通的设计和选型需要根据具体的应用需求和真空度要求进行选择和优化。馈通的质量、密封性和可靠性等指标对于保证真空系统的稳定性和可靠性非常重要。
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关键词：质谱仪电子显微镜