选择HMDS烘箱注意事项
选择hmds烘箱的容积
内腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均适用，4寸晶圆可处理200p/次；
hmds烘箱真空泵的选择
根据腔体容积，选配合适型号的真空泵。常用涡旋式真空泵又分为油泵和干泵。
◆ 全无油泵，不会污染真空系统
◆ 采用独立马达与轴承的密封设计
◆ 体积小巧
◆ 具有更低的极限压强
◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件
◆ 低噪声，低振动
3.hmds烘箱辅助功能选择：
◆hmds药液泄漏报警提示功能
◆hmds低液位报警提示功能
◆工艺数据记录功能
◆药液管道预热功能
◆程序锁定保护等功能
hmds烘箱有称为智能型hmds真空系统通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层 hmds，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。
关键词：真空泵
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