oval热式质量流量计的测量原理
oval热式质量流量计的测量原理
热式质量流量计由主流路、旁通流路、设置在主流路中的加热器和温度传感器（流量传感器）以及设置在旁通流路中产生流量的层流元件构成。主要流路 由作为主要单元的主体和处理来自流量传感器的质量流量信号的电路等组成。控制器将如上配置的质量流量计与电磁阀组合成流量控制部分。（根据规格，某些型号有单独的电磁阀。）
主要流动路径是毛细管，连接到该毛细管的两个温度传感器形成桥式电路的一部分。当流体流经毛细管时，两个温度传感器之间会产生与质量流量相对应的温差，温度传感器检测到的温差会改变桥式电路的平衡，因此会产生与流量相对应的电信号得到了。可以做的。由于在两个温度传感器之间放置了一个加热器，因此可以将桥式电路检测到的温差输出作为稳定的质量流量输出。温差输出转换成电压，放大后成为输出信号。控制器对电路部分的流量输出信号和流量设定信号进行比较计算，并将差值控制为零。
热式质量流量计的特点（总结）热式质量流量计的特点
1.可直接测量质量流量
2.无活动部件
3.甚至可以测量非常小的流量等等。
此外，由于热式质量流量计的测量原理，必须注意以下几点。
1.测量对象有限制（气体和液体的流量非常小）
2.抗污能力弱（适用于清洁流体）
3.不同的流体有不同的传感器灵敏度（如果流体的类型不能固定，就不能进行正确的测量）
然而，用于测量微小流量的热式质量流量计预计在未来将越来越流行，主要用于半导体制造过程中的采样、混合和稀释。
关键词：热式质量流量计 质量流量计 加热器 温度传感器 流量传感器
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