水汽深冷捕集泵有效缩短抽真空时间,提高镀膜品质

在使用油扩散泵和分子泵抽真空的过程中,空间中残留的气体80%以上是水蒸气、油蒸汽和一些高沸点蒸汽。这种残余气体在高真空状态下难以快速提取。速度慢,残留气体的存在不仅会影响真空度,还会污染生产实验工件。水汽深冷捕集泵有效缩短抽真空时间,提高镀膜品质。
真空度在10-2和10-8pa之间。对于油气,增加真空度,提高产品质量,加快抽油速度,提高生产效率。在真空室或油扩散泵的泵口放置一个可快速达到-135℃以下的低温装置(水汽捕集泵或超低温冷阱),通过其表面深低温冷凝能力将真空室中的残余气体迅速吸附在其表面,从而大大缩短抽真空时间(可缩短抽真空时间60-90%),获得干净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8torr,10-5pa)。
1、水汽深冷捕集泵常安装在高阀与真空室之间,或在真空室中,在缠绕涂层的上、下室中。适用于塑料低温涂层、缠绕涂层等涂层材料放气量大的场合。线圈需要加热除霜装置使线圈温度恢复正常每次打开门之前,以防止低温线圈从大气中吸收大量的水蒸气,形成霜,这将影响下一个吸尘。
2、水汽深冷捕集泵放置在油扩散泵的泵口,高阀下方。它的主要作用是防止油回流到油扩散泵,还可以加快抽油速度,增加真空度。由于系统处于真空状态,不需要除霜装置。
长流仪器研发生产的vaporcold -135℃水汽深冷捕集泵,采用成熟的核心技术、可靠的设计方案、进口品牌制冷压缩机及制冷配件、环保混合制冷剂、自动复叠制冷。制冷速度快、效率高、温度低、维护方便。其设计和制造与国际技术水平同步,性能指标达到甚至进口机型,可实现对进口机型的直接替换。
长流仪器提供完整的水汽捕集泵方案,帮助客户提高生产效率、减少生产费用,改进制程表现,提高产品质量和产量。
关键词:压缩机 制冷配件

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