X射线光电子能谱仪的基本结构
x射线光电子能谱仪(xps)是一种*的表面分析技术，它利用x射线激发样品表面元素的内层能级电子信号，再用电子能谱仪检测光电子的动能及强度，进而确定元素的种类及价态等信息，主要用于研究材料极表面的元素及元素不同价态组成。
xps的主要由进样室、超高真空系统、x射线激发源、离子源、电子能量分析器、检测器系统、荷电中和系统及计算机数据采集和处理系统等组成。
1、超高真空系统
超高真空系统是进行现代表面分析及研究的主要部分。xps谱仪的激发源，样品分析室及探测器等都安装在超高真空系统中。通常超高真空系统的真空室由不锈钢材料制成，真空度优于1×10-9托。
2、快速进样室
为了保证在不破坏分析室超高真空的情况下能快速进，x射线光电子能谱仪多配备有快速进样室。快速进样室的体积很小，以便能在40～50分钟内能达到10-7托的高真空。
3、x射线激发源
xps中较为简单的x射线源，就是用高能电子轰击阳极靶时发出的特征x射线。通常采用al kα(光子能量为1486.6ev)和mg kα(光子能量为1253.8ev)阳极靶，它们具有强度高，自然宽度小(分别为830mev和680mev)的特点
4、离子源
离子源是用于产生一定能量、一定能量分散、一定束斑和一定强度的离子束。在xps中，配备的离子源一般用于样品表面清洁和深度剖析实验。在xps谱仪中，常采用ar离子源。
5、荷电中和系统
该装置可以在测试时产生低能电子束，来中和试样表面的电荷，减少荷电效应。
6、能量分析器
能量分析器的功能是测量从样品中发射出来的电子能量分布，是x射线光电子能谱仪的核心部件。
7、检测器系统
光电子能谱仪中被检测的电子流非常弱，所以现在多采用电子倍增器加计数技术。电子倍增器主要有两种类型：单通道电子倍增器和多通道电子检测器。
8、成像xps
表面分析时的成像xps可以提供表面相邻区中空间分布的元素和化学信息。xps成像把小面积能谱的接收与非均质样品的光电子成像结合起来，可以在接近15µm的空间分辨率下通过连续扫描的方法采集。
9、数据系统
数据系统由在线实时计算机和相应软件组成。在线计算机可对谱仪进行直接控制并对实验数据进行实时采集和处理。实验数据可由数据分析系统进行一定的数学和统计处理，并结合能谱数据库，获取对检测样品的定性和定量分析知识。
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2、快速进样室
为了保证在不破坏分析室超高真空的情况下能快速进，x射线光电子能谱仪多配备有快速进样室。快速进样室的体积很小，以便能在40～50分钟内能达到10-7托的高真空。
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数据系统由在线实时计算机和相应软件组成。在线计算机可对谱仪进行直接控制并对实验数据进行实时采集和处理。实验数据可由数据分析系统进行一定的数学和统计处理，并结合能谱数据库，获取对检测样品的定性和定量分析知识。
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