高压汞规格全自动uv照射机
fhuv-系列
“紧凑型”和“高输出”高压汞灯规格
概述高压汞/金卤灯全自动uv照射设备是一种使用具有强辐射能的灯管的紫外线固化设备。
装入工件后,按下启动按钮,机器将全自动将工件从料库中取出,并用紫外灯照射,并存储,直到料库中的工件全部完成。根据目标工作,您可以选择高压汞灯和金属卤化物灯。
特征紧凑的机身
可以进行 10 种配方设置(速度根据设置而变化)
可使用触摸面板以 4 种方式设置功率
显示累积照射量和紫外线照射强度(仅照射期间)
可根据照射对象选择高压汞灯/金属卤化物灯
配备自动设置变更功能,可自动切换至不同尺寸
不仅可以照射切割框,还可以照射握持环。
具备判断uv照射是否完成的功能。
目的可用于lsi晶圆、存储器晶圆、led晶圆、激光晶圆、传感器晶圆、功率器件晶圆等各种工艺。
规格
尺寸宽1300×深1400×高1350(毫米)
重量约400公斤
驾驶空气0.4mpa以上
紫外线照度200mw/cm²以上
氮气0.2mpa以上 100l/min以上
电源交流三相200v 50/60hz 100a
*尺寸适用于 8 英寸类型。
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