SHASHINA KAGAKU日本写真化学 紧凑型膜厚监控仪
紧凑型膜厚监控仪是一种反射分光光度计，使用小型反射探头，适用于从
实验室水平到生产过程中在线100%检测的所有情况。它具有出色的可维
护性，可用于过程设备和生产线管理。最多可同时测量9种类型的透明薄膜。它可用作各种多层薄膜工艺的在线或终点监控器。紧凑型探针可以安装在加工工具内部的小空间中。还可以通过使用ema理
论来判断混合层的混合比或多晶硅的结晶度。
紧凑型光纤探头
可以安装在加工工具内部的小空间中
膜厚测量0.1nm (3o) 的重复性好
可测量多达9层的多层膜厚度
使用旋涂机检测终点的视频
可选择光源
光源
白光led
钨合金
deuterlum卤素
波长范围(nm)
430-700
400-900
220900
无线 (选项)
包含膜厚终点检测软件
靶厚度范围 (nm)典型使用寿命 (小时)
50--50,000
50--50,000
10--30,000
>50.000
10,000
1,000
电影1:终端监视器的演示1
电影2:终端监视器的演示2
材料分析功能
用ema评价复合材料的混合比
自动映射阶段 (选件)
结晶度与光学常数分析
关键词：监视器 分光光度计
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